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                選擇勻膠機/旋涂儀應該注意哪幾個細節?

                發布時間:2023-08-03      點擊次數:130
                勻膠機有很多種稱謂,英文叫SpinProcessor或者SpinCoater,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是一樣的,既在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
                 
                針對目前勻膠機市場品牌眾多的情況,綜合多年從事勻膠機技術研究的實際經驗,為幫助廣大用戶提高辨別能力,下面為大家提供直觀明確的選擇標準。從其原理來說,我們可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節:
                 
                1、真空吸附系統的構造
                 
                真空泵一定要無油的,壓力標定準確,國內生產的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產生的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成完全堵塞。用過國產勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題,這一點許多國外的勻膠機做得不錯,他們有通過聯動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉。
                 
                2、旋轉速度
                 
                轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。國產的某些勻膠機只能提供轉速范圍,并不能精確標定實時的轉速。進口的勻膠機雖然大部分能標定轉速,但是大部分轉速精度沒有國際標準認定。建議購買轉速控制方面有國際認定標準的,比如:美國NIST標準等。
                 
                3、材質的選擇
                 
                對于半導體化工行業的應用來說,材質的選擇尤為關鍵,大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質,因為這種材質的成本很低,不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較高溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點。安賽斯(中國)有限公司提醒廣大客戶:在選購勻膠機的同時,一定要注意品牌和質量,價格其次,市場上的勻膠機層次不齊,客戶在購買時要慎重考慮。
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