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                    可編程旋涂儀/勻膠機

                    簡要描述:HC220可編程旋涂儀/勻膠機,采用高精度工業伺服電機,配置8英寸人機界面,清晰的編程程序界面設置,易學易用。適合半導體行業及科研院所,實驗室級的研究開發

                    • 產品型號:HC220
                    • 廠商性質:生產廠家
                    • 更新時間:2024-03-05
                    • 訪  問  量:52

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                    詳細介紹

                    產品介紹:



                      稱:可編程精密勻膠機HC220PE

                      號:HC220PE

                      用:HC220可編程旋涂儀/勻膠機,采用高精度工業伺服電機,配置8英寸人機界面,清晰的編程程序界面設置,易學易用。適合半導體行業及科研院所,實驗室級的研究開發。適合8英寸及以下尺寸晶元旋涂,是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性。

                     

                    產品概述:



                      HC220可編程旋涂儀/勻膠機,采用高級PLC 模塊,工業級伺服電機,全自動程序控制,轉速精度高,穩定性好??捎糜谖㈦娮?、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。
                      設備采用工業級別200瓦伺服電機系統,采用與track設備相同設計和程序,使您的工藝更具有實際應用意義;同類產品中最大達到50000RPM/S的旋轉加速度,確保旋轉勻膠的穩定性和可重復性。

                     

                    性能參數:



                    l  旋涂程序:采用與track設備類似的程序與設計,最多可存100組程序,每組100步,每個步驟可精確到0.1秒;

                    l  電機速度:0-10,000rpm;

                    l  旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載);

                    l  馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm;

                    l  轉速調節精度<1rpm;

                    l  重復性< 1rpm;

                    l  工藝時間設定: 0-3,000 sec/step;

                    l  時間設置精度:0.1sec;

                    l  支持wafer尺寸1cm-200mm8"圓晶);

                    l  旋涂作業均勻性:< ±3% 6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米區域測量);

                     

                    產品特點:




                    l  用高級PLC模塊,工業級伺服電機;

                    l  8英寸彩色觸屏控制,人機界面;

                    l HDPE高分子內腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;

                    l內腔壁采用凹面設計,有效防濺;

                    l可編程寫和存儲100組程序,每組100步;

                    l帶真空度安全互鎖檢測功能;

                    l帶蓋子安全互鎖檢測功能;

                    l帶排廢接口;

                    l具有電機進膠保護功能;

                    l管路易疏通設計;

                    l具有真空不足提示及保護功能,具有斷電后參數自動保存功能;

                    l正、反轉旋涂方向可自由切換;

                    l旋涂參數可設置循環執行;

                    l速度-時間曲線實時顯示;

                    l配置四個自動點膠接口,可升級多路自動點膠系統;

                    l可設置用戶密碼保護功能;

                    l配置可調基座,方便調節水平;

                     

                     

                     


                     

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                              不同尺寸的載物盤

                     

                     

                    產品外型尺寸:
                           
                    444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)    


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