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                    當前位置:首頁 >產品中心>半導體前處理>安賽斯勻膠機>HC160精密旋涂儀

                    精密旋涂儀

                    簡要描述:精密旋涂儀:采用高級PLC 全自動程序控制,轉速精度高,穩定性好??捎糜谖㈦娮?、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。

                    • 產品型號:HC160
                    • 廠商性質:生產廠家
                    • 更新時間:2024-03-05
                    • 訪  問  量:64

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                         稱:精密旋涂儀HC160

                         號:HC160

                    應   用:精密旋涂儀采用高級PLC 全自動程序控制,轉速精度高,穩定性好??捎糜谖㈦娮?、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。

                     

                    產品概述:





                      HC160精密旋涂被設計為涂膠處理基片尺寸為?5mm~160mm或對應的,使用工業級直流馬達和PLC控制,4.3英寸全彩觸屏人機界面操作,簡單易用。勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備,納米薄膜研究等相關領域。
                      靈巧型勻膠機設計標準為結構緊湊、簡單易用,程控操作,且能夠升級自動點膠功能,尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內進出,具有優異的性價比。亦可提供分體式設計,進行嵌入式安裝,與手套箱進行配合。

                     

                    性能參數:



                    • 適用晶元尺寸范圍:?5~160mm;

                    • 旋涂速度:100~12000rpm;轉速分辨率:1rpm;

                    • 旋涂加速度:100-30000rpm/s;

                    • 最大旋涂時間:3000s;旋涂時間精度:0.1s;

                    • 內腔直徑220mm,內腔壁采用凹面防濺設計;

                    • 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;

                    • 電源輸入:AC200-230V;

                     

                    產品特點:





                    • 設計緊湊,可放置在手套箱內;

                    • 5英寸彩色觸屏控制,人機界面;

                    • 一體加工成型的HDPE內腔,耐腐蝕,易清潔;內腔壁采用凹面設計,有效防濺;

                    • 高級PLC全自動程序控制,可編程;

                    • 帶真空度安全互鎖檢測功能;帶蓋子安全互鎖檢測功能;

                    • 具有電機進膠保護功能;管路易疏通設計;具有真空不足提示及保護功能,具有斷電后參數自動保存功能。  

                    • 帶一路自動點膠接口,可升級自動點膠系統;

                    • 可設置用戶密碼保護功能;

                    • 配置可調基座,方便調節水平;

                     

                     

                    產品外型尺寸:

                      358mm(D)*252mm(W)*255mm(H)

                     

                    HC160PE

                     

                     

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